氣體質量流量控制器
Gas Mass Flow Controller
氣體質量流量控制器
⊙ 性能優勢
精度
±1%
快速響應
≤0.7S
自由切換更改氣體介質
觸屏點擊輸入設定流量
良好的
重復性和再現性
高可靠性
溫度和壓力不敏感
優越的
零點穩定性
⊙ 產品系列
M F C - E 系 列 質 量 流 量 控 制 器（ M a s s Flow Controller）是一款專為氣體分析儀、質 譜 儀、配 氣 儀 等 行 業 所 開 發 的 一 款 高 精 度、低 溫 漂 、高 可 靠 性 的 氣 體 質 量 流 量 控 制 器 產品 。該 產 品 配 備 有 高 精 度 流 量 傳 感 器、高 端 電 磁 比 例 閥 、3 1 6 L 不 銹 鋼 氣 路 座 等，具 有 精 度高 、響 應 速 度 快 、穩 定 性 好 等 優 點 。操 作 使 用方 便 , 無 需 溫 度 補 償，壓 力 不 敏 感 。輸 出 和 控 制 信 號 包 含 ：0 - 5 V 模 擬 信 號 和 R S 4 8 5 數 字 通 信 方 式。
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S300系列數字質量流量控制器/流量計：采用公司自主研發的工業級先進流量傳感器，結合精細拋光氣路結構以及高精度數字控制電路和算 法，實 現 高 精 度、低 零 漂、高 重 復 性 控 制 。該 產品配備現場顯示屏和地址編碼開關，多種通訊方式可選、可定制全金屬密封，完美適配半導體、真空鍍膜、光伏及其它各類應用環境 。
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青島芯笙推出的S500系列氣體質量流量控制器，以最新研制的MEMS芯片為基礎，熱分布更加均勻，可靠性更高；搭載全新設計的氣路結構，讓流量能夠無視氣源壓力波動，保持穩定的層流狀態和分流比；配備進口的高端電磁比例閥、核心標定和溫補算法，可實現對氣體流量的高精度控制。產品量程范圍大，可測氣體種類豐富，不受溫度和壓力影響，安裝方便，可靠性高，完美適配各類應用環境。
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UT系列產品采用公司全新的集成化設計理念，在保持高精度和高穩定性的同時，其尺寸和重量分別壓縮到目前常規產品的1/6和1/5，適合高端分析儀器。該產品采用最新一代的工及溫度補償算法，可實現最小0.1sccm、最大20slm流量范圍內的氣體流量快速控制。每臺產品均經過嚴格溫度補償，在0-50℃內誤差均小于1%S.P.。該產品可用于質譜儀、光譜儀、氣相色譜儀、配氣儀等高端儀器設備。
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