E系列
氣體質量流量控制器，環保流量控制器，氣體流量控制
產品概要
- 詳情介紹
- 規格參數
- 產品應用
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- 商品名稱: 氣體質量流量控制器，環保流量控制器，氣體流量控制
- 商品編號: E系列
- 列表頁描述: 熱式質量流量控制器
M F C - E 系 列 質 量 流 量 控 制 器（ M a s s Flow Controller）是一款專為氣體分析儀、質 譜 儀、配 氣 儀 等 行 業 所 開 發 的 一 款 高 精 度、低 溫 漂 、高 可 靠 性 的 氣 體 質 量 流 量 控 制 器 產品 。該 產 品 配 備 有 高 精 度 流 量 傳 感 器、高 端 電 磁 比 例 閥 、3 1 6 L 不 銹 鋼 氣 路 座 等，具 有 精 度高 、響 應 速 度 快 、穩 定 性 好 等 優 點 。操 作 使 用方 便 , 無 需 溫 度 補 償，壓 力 不 敏 感 。輸 出 和 控 制 信 號 包 含 ：0 - 5 V 模 擬 信 號 和 R S 4 8 5 數 字 通 信 方 式。
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介質要求 潔凈干燥無腐蝕性氣體
介質種類 空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳、氦氣、氫氣、甲烷、氧氣等
量程 (0～20, 100, 300, 500) SCCM
(0～1, 2, 3, 5, 10，20) SLM
精度
分辨率
響應時間 ≤0.5S
重復精度
工作壓力 9.8bar
主體材質 底座：316L不銹鋼， 外殼：鋁合金
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動態氣體校準儀
動態氣體校準儀，是一種高精度動態混配氣儀，用于產生不同濃度的標準氣體，用于校準各種氣體分析儀。
青島芯笙MFC-E系列氣體質量流量控制器，專為高精度動態混配氣所設計，可提供硅烷化/陶 化處理，減少流量計內部氣體吸附和析出，可用于配制最低ppt級別的VOCs校準氣體。最大量程為 20slm，最小量程20sccm，在0-50℃范圍內的精度為1%R.D.。
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