MFD系列
氣體質量流量模塊
產品概要
- 詳情介紹
- 規格參數
- 產品應用
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- 商品名稱: 氣體質量流量模塊
- 商品編號: MFD系列
MFD系列產品是采用先進流量傳感器芯片,結合32位高速數字處理電路、高精密算法以及特殊的旁通流道設計,所開發的一款大量程、更可靠的流量傳感器,具有低功耗(典型80mW)、大量程 0 - 300 SLM、快速響應(典型15ms)等優點。該產品基于公司自主研發的高性能流量傳感器芯片以及核心算法技術,配合多種不同流道設計,具有可靠的長期穩定性,可應用于多種工業、醫療等場景。
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青島芯笙推出的S500系列氣體質量流量控制器,以最新研制的MEMS芯片為基礎,熱分布更加均勻,可靠性更高;搭載全新設計的氣路結構,讓流量能夠無視氣源壓力波動,保持穩定的層流狀態和分流比;配備進口的高端電磁比例閥、核心標定和溫補算法,可實現對氣體流量的高精度控制。產品量程范圍大,可測氣體種類豐富,不受溫度和壓力影響,安裝方便,可靠性高,完美適配各類應用環境。